技术编号:17064690
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及光学加工技术领域,特别是涉及一种光学位置检测装置和方法。背景技术光学位置检测方法具有非接触、高精度和响应快速等优点,广泛应用于定位控制和产品形貌检测等领域。现有的光学位置检测方法有多种:共焦法(也称为共轭焦法,多见于激光共焦显微镜)、三角法(在当前商用的激光位移传感器中被广泛采用)、干涉法(例如双频激光干涉仪)、像散法(光驱的伺服聚焦即采用改法,也用于精密光学加工,例如专利201010170978.4)等等。在特殊的情况下,以上方法难以满足需求。例如:已经有其它光路占据了工件待测位置的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。