技术编号：17064897
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，主要涉及一种基于透射光栅的高精度滚转角测量方法与装置。背景技术精密小角度测量是几何计量探测的基础和重要组成部分，在微电子制造、精密装备制造与校准、光学元件加工与探测、航空航天以及船舶工业中大型设备的加工与装配、以及科学研究和工程制造等领域有广泛应用，随着相关领域的不断发展，对角度的测量精度与测量稳定性的要求也随之提高。机械运动一般存在三个方向的角度误差，及偏摆角误差、俯仰角误差和滚转角误差。其中，偏摆角和俯仰角误差可以通过激光干涉方法和自准直方法等测...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。