技术编号:17072168
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种加速度计,属于微机电技术领域。背景技术基于微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical-System)加工制作的微型加速度计因其体积小、成本低、集成性好、性能优良等诸多优点已在工业、医疗、民用、军事等非常广泛的领域得到了越来越多的应用。目前,在各类移动终端、相机、游戏手柄、导航仪等产品的应用中,在一定程度上,已经成为标准配置。在研制过程中,电容式、电阻式、压电式作为检测加速度的方式是主要应用的机理,其中,电容式加速度计因其结构简单,成本低廉,并可在低频范围...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。