技术编号：17072192
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于MEMS传感器技术领域，具体涉及一种全碳化硅MEMS三轴加速度计及其制造方法。背景技术微型高温加速度传感器是微机电系统领域非常重要的一种传感器，体积小且耐高温的优点使得其在高温MEMS测量领域，如航空航天发动机、军事导弹制导控制、汽车工业等加速度测量中得到了广泛的发展和应用。目前常见的加速度传感器多是硅基衬底的，而普通硅器件由于硅材料半导体高温特性的限制，难以在超过200℃以上的恶劣环境中可靠工作。基于此，为了使MEMS加速度传感器适应更高温度的工作环境，相关研究者主要是从两个方面进行...
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