一种微型激光腔及气体激光器的制作方法技术资料下载

技术编号:17087049

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本发明涉及激光技术领域,特别涉及一种微型激光腔及气体激光器。背景技术采用放电激励工作制式的气体激光器,激光腔工作在密闭条件下,要求激光腔中的工作气体循环流动快速通过放电腔,并对因放电而使温度升高的气体实施冷却以保持工作稳定。因此在激光腔中须有使工作气体循环流动的风机及冷却的换热器,如图1所示。风机16、换热器14和18及气体导流装置13、15、17和19占有激光腔的大部分空间,使激光腔结构复杂,体积和重量庞大,故障点多。而且,激光器还需设有制冷机组来产生冷却用的冷源。发明内容本发明提供了一种微型...
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