一种高灵敏度双倍增内线转移CCD的制作方法技术资料下载

技术编号:17089533

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本发明属于光电探测及成像领域,具体为一种高灵敏度双倍增内线转移CCD。背景技术在高灵敏度CCD方面,目前的主流器件为电子倍增CCD(EMCCD),主要采用单倍增的方式在器件的转移后端设计电子倍增结构,实现对信号的放大倍增,目前EMCCD的等效噪声电子可控制在1个电子以内,探测灵敏度可达10-3-10-4Lx。经过多年的发展,EMCCD技术已经成熟,倍增增益可达1000倍以上,探测灵敏度能够达到10-4Lx。但目前类似于EMCCD这类只在后端单倍增的器件的探测灵敏度上已接近极限,若要进一步提高器件...
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