技术编号：17098497
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电子元器件技术领域，特别涉及一种防止晶圆衬底旋转的分子束外延用衬底托板。背景技术分子束外延(MBE)技术是一种半导体材料的外延生长技术，在超高真空腔体中，通过热蒸发、裂解多种元素的超高纯单质并形成原子或分子束流，然后在一定温度的单晶衬底上混合并以原子层级别的精度外延生长为具备特定组分的半导体材料。MBE技术在其诞生之初主要用于科学研究，而近年来随着MBE技术的发展和产业界不断深入的应用需求，MBE技术生产的半导体外延材料得到了广泛的应用。MBE生产的半导体外延片常采用4英寸甚至更大...
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