干涉仪检具及使用方法与流程技术资料下载

技术编号:17126514

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本发明涉及一种用于球面镜片检测的干涉仪检具及使用方法。背景技术球面镜片亚斯/局部面精度是光学成像的重要指标,在镜片研磨完成后需使用干涉仪进行抽检,当不良比例超标时需对整批次产品进行全检确认,在干涉仪上检测时,需使用干涉仪检具进行定位。传统干涉仪检具采用圆周定位,即治具内孔稍大于镜片外径(通常为0.1-0.2mm)。这样的检具通用性差,镜片外径差异大于0.5mm时,定位效果差,易平移,亚斯成像位置偏移,同时,生产加工时,需针对不同型号镜片需更换不同型号检具,更换频率高,影响检查效率,检具数量多,也...
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