技术编号:17127289
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检测设备领域技术,尤其是指一种硅晶材料检测系统及其通用型积分球结构。背景技术晶片或晶柱等硅晶材料制作完成后均需要进行检测,以检测其是否存在气泡、针孔等缺陷,检测时主要配合光源和摄像头,为了能够达到检测,照射到检测工件上的光源需要非常分散,现有技术中,主要透过积分球来进行光线的分散。然而,不同的硅晶材料需要使用不同波长的光源,目前的积分球只能产生一种波长的光源,当需要更换另一种光源时,需要对外部的光源装置进行更换,通用性不好,给检测作业带来麻烦。并且,由于光源会衰减,在检测过程中无法及时...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。