技术编号：17128840
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密运动平台技术领域，更具体地说，涉及一种单轴宏微运动装置。背景技术平台结构中，宏微复合的运动平台由于具有较好的精度效果、较高的分辨率以及较高的定位精度得到科研人员的广泛认可和研究应用；为获得较高精度的零件，合格的产品，就意味着需要对零件进行检测，现有的对产品的检测更多的是采用光学检测。而光学系统在工作过程中，成像目标与光学系统的相对位置总是发生变化的，而为了获得更好的成像效果，就需要对运动系统进行对焦，而在运动平台中，对焦的工作往往由Z轴系统完成，例如在芯片检测中往往涉及到Z轴位移补...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。