传感器组件和装置以及制造传感器组件的方法与流程技术资料下载

技术编号:17131340

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传感器(特别是传感器集成电路IC)可能非常容易受到机械应力的影响。应力可以例如通过由于外力引起的变形而引入到系统。机械应力的另一个来源可以是温度变化或温度应力,例如在传感器的应用期间或者在将传感器系统焊接到电路板时。如果使用包括具有不同热膨胀系数CTE的材料的封装件,则这可能是特别相关的。此外,例如由于电路板的膨胀,湿度(特别是空气湿度)也可能引起变形。在现有传感器组件中,传感器芯片(例如MEMS设备)上的机械应力可能很高,例如导致传感器性能退化或物理损坏。一些机构可能难以组装或遭受增加的封装成...
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