技术编号:17142714
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及送风过滤领域,具体涉及一种能检测腐蚀性气体的化学过滤器。背景技术化学过滤器能够有效去除洁净室和相关受控环境中的腐蚀性气体。过滤材料采用特殊浸渍处理的颗粒活性炭和高氧化性能的微球吸附剂,针对性强,吸附后不易解析,不产生二次污染。化学过滤器一般配合FFU使用,用于制作洁净工作台,洁净棚,洁净传递柜、洁净存衣柜等洁净空间,化学过滤器安装于FFU的出风口处,以对通过FFU送入洁净空间的空气进行腐蚀性气体过滤。现有技术中,通常采用点监测的方法实时监测洁净空间中的腐蚀性气体,即对洁净空间中布置...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。