技术编号:17154233
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及太赫兹探测技术领域,尤其涉及一种太赫兹探测器及其制造方法。背景技术太赫兹波是对一个特定波段的电磁波的统称,通常是指振荡频率在0.1THz~10THz之间的电磁波。由于处于电磁波谱的特殊位置,太赫兹波具有穿透性能好、单光子能量低、光谱信息丰富等特点,在安检成像、光谱探测、信息通讯等领域具有重要的应用价值。目前,应用较多的室温太赫兹探测器包括场效应管探测器、肖特基探测器、太赫兹探测器等几种。肖特基探测器和场效应管探测器可以获得较高的探测灵敏度,但目前其频谱响应范围只限于1THz以下波段,且...
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