技术编号:17154271
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及电容元件、图像传感器、电容元件的制造方法以及图像传感器的制造方法。背景技术近年来,已知具有MIM(Metal Insulator-Metal;金属绝缘体金属)结构的电容元件。例如,日本特开2016-76921号公报和日本特开2006-270123号公报分别公开了具备使用ZrO2等介电常数高的材料形成的绝缘膜的电容元件。发明内容本申请的非限定性的某示例性的一个方案的电容元件具备:第一电极;第二电极,该第二电极与上述第一电极相对置地配置;以及电介质层,该电介质层位于上述第一电极与上述第二电...
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