技术编号：17159613
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可以有效降温的分子蒸发装置，属于超高真空有机分子技术领域。背景技术蒸发沉积是一种常见的真空镀膜技术，要实现蒸发沉积，必须要的设备就是真空蒸发源。根据蒸发源加热方式的不同也可以将其分为热阻蒸发源和电子束蒸发源。热阻蒸发源一般是通过通入电流使电阻丝产生热量，继而给所需升华材料加热，是一种热辐射的加热方式。热阻蒸发源适合一些低熔点的材料，比如有机分子，故而有时又称为有机分子蒸发源；电子束蒸发源是利用高能电子聚焦去集中加热所需加热的材料，适合一些熔点较高的材料，比如一些高熔点的金属。两种蒸...
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