一种紫外发光二极管芯片的外延结构的制作方法技术资料下载

技术编号:17165468

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本实用新型涉及发光二极管芯片技术领域,尤其涉及一种紫外发光二极管芯片的外延结构。背景技术III-V族化合物半导体材料由于其优良的光电性能特性,从而被广泛应用于诸多半导体器件中。其中氮化镓及其化合物半导体(例如氮化铝镓、氮化铟镓化合物)已经被广泛应用于发光二极管领域,通过改变氮化镓中铝组分和铟组分的含量,可以实现发光二极管从绿光到紫外光波段的覆盖。目前氮化镓基蓝光和绿光LED已经占据了手机和电视显示屏、室内外普通照明、大型舞台景观屏幕等照明应用的垄断地位。近年来随着紫外光在空气和水净化,医疗消毒等...
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