掩埋DFB激光器及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:17175663

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本发明涉及一种掩埋DFB激光器及其制备制备方法。背景技术随着高速光通信的发展,对通信的激光源提出了更高的要求。相对于FP(Fabry-perot)激光器,DFB(Distributed Feedback)激光器具有良好的模式选择能力,可以实现更窄的线宽,目前已经在光通信系统中得到广泛的应用。为了得到更高性能的DFB激光器,激光器的条形结构起了非常重要的作用。目前掩埋异质结结构(以下简称BH结构)通过在有源区两侧外延生长较低折射率的材料并且设计反偏PN结,可以实现对载流子和光子的限制,从而实现低的...
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