技术编号：17182413
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种探针系统，尤其涉及用于低温等离子体电位诊断的探针系统，属于低温等离子体参量诊断设备领域。背景技术在低温等离子体(等离子体数密度小于1022m-3)应用领域，主要是利用等离子体发生器产生的低温等离子体，低温等离子体的参量很大程度上决定了应用层面的性能好坏，因此，需要对低温等离子体参量进行诊断。一般情况下，需要诊断的低温等离子体参量有等离子体电位、等离子体密度和等离子体能量。目前，等离子体电位诊断方法主要采用的是电流收集方案，其基本原理为：当金属设备与低温等离子体诊断区域形成一定电位差...
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