技术编号:17198794
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片装载技术领域,特别涉及一种硅片装载机构。背景技术太阳能电池是世界上公认的可大规模推广应用的清洁能源之一,特别是随着国家环保意识的加强,我国也在大力支持这一发电方式,尤其是对高效电池方面的支持力度逐年上升,而高效异质结电池作为高效电池制备的前列,在高效电池领域占据很大的比重。在高效异质结电池生产过程中,PVD(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)制备工艺为该类电池制备中的关键工序。在PVD工艺中,需要将硅片放置在载板的沟槽内,然后盖上盖板,以防止硅片...
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