技术编号：17206459
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及垂直腔面发射激光器，具体涉及一种具有多个电流限制层的DBR反射镜的高功率单模垂直腔面发射激光器。背景技术在高功率单模VCSEL(垂直腔面发射激光器)中有几种有效的电流限制和横向光学限制方法，其中较常采用的方法是掩埋异质结构、蚀刻气柱、离子注入和选择性氧化。特别是采用氧化限制的VCSEL由于在小的有效体积中的有效电流和光学限制而在调制带宽方面表现出优异的性能。已经使用VCSEL内的氧化限制层通过在激光模式内收缩电流和引导激光来最小化功率耗散。然而，这些氧化限制层由于其外延半导体不完美的形...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。