技术编号:17206463
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光器技术领域,尤其涉及一种独立开关式面光源VCSEL及其制备方法。背景技术VCSEL器件是通过外延生长和电极工艺制备的二极管。VCSEL器件中,多个发光点在前外延面通过金属电极联通,共用1个电极。列阵中多个二极管在衬底面半导体材料本身连在一起,共用1个背电极。从而,VCSEL器件工作时,其上的各个发光点是同时工作的,因此不适用于低功率需求的使用场合,同时也不利于节约能耗。因此,针对上述问题,有必要提出进一步的解决方案。发明内容本发明旨在提供一种独立开关式面光源VCSEL及其制备方法,...
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