技术编号：17208437
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及环境腔体装置技术领域，具体涉及一种用于步进器的环境腔体部。背景技术步进器曝光系统在在进行曝光作业时，整个设备是包围在环境腔体内的，环境腔体内是一个空调循环系统，循环空气通过高精度的高效过滤器吹进到腔体内，使得这整个环境腔保持在一个恒温、恒湿的干净环境，确保产品作业的稳定进行，然而现有的步进器曝光系统内的环境腔体内部温度和风量不能得到较好的控制调节，循环性不佳，降低了使用性。实用新型内容本实用新型目的是提供一种用于步进器的环境腔体部，提供一种恒温、恒湿循环效果好的步进器环境腔体部。为...
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