技术编号:17216393
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅破碎领域,特别是涉及一种多晶硅棒破碎装置及其破碎方法。背景技术多晶硅是制备半导体器件和太阳能电池的原材料,按照纯度和用途可以分为太阳能级多晶硅和电子级多晶硅。目前制备多晶硅的主要方法为改良西门子法,由于制备出的多晶硅棒长且直径大,且随着改良西门子法生产多晶硅技术不断突破和发展,生产的多晶硅线性尺寸越来越大,作为多晶铸锭或单晶制备原料均无法直接使用。然而随着多晶铸锭投料量增大及单晶连续拉晶技术的成熟,对小料的需求量日益增加,且越来越迫切,因此,改良西门子法生产的多晶硅需进行人工或机...
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