技术编号:17285283
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于真空镀膜设备技术领域,特别涉及一种用于真空镀膜的可移出式滚筒装置。背景技术对于大批量小薄尺寸工件的真空镀膜应用,通常采用水平转动的滚筒镀膜方式。在工件滚筒持续转动中,所装载的小薄尺寸工件受到持续翻滚和搅拌,实现全表面的均匀镀膜。为了大量小薄尺寸工件的装卸方便,通常工件滚筒设计成可移出真空壳体的结构。在移出真空壳体时,旋转传动机构和工件滚筒通常设计成容易方便脱开的结构;在移入真空壳体时,旋转传动机构和工件滚筒又容易方便连接,如果需要还要同时建立导电连接。在镀制铝膜层或其它较低熔点金属...
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