技术编号:17296955
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体激光器领域,具体涉及一种大孔径高光束质量微型激光器。背景技术垂直腔面发射激光器(VCSEL)自1977年诞生以来,不断的吸引着科研工作者以及市场需求的目光。该半导体激光器的通常结构是:包括P面电极、电流引导层、P面分布布拉格反射镜、高铝层、钝化层、氧化限制层、有源区、N面分布布拉格反射镜、缓冲层、衬底层和N面电极。其中的小孔径低功率的VCSEL器件(激光输出的窗口小于10μm的激光器),因其有着动态调制频率高、光束质量好以及体积微小等优点,已经成熟的应用在通信行业。而且随着小功率...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。