技术编号:17306823
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于多晶硅生产技术领域,具体涉及一种多晶硅生产中的低沸氯硅烷的分离系统。背景技术多晶硅生产过程中,在合成单元、还原单元、氢化单元中都会有副产物二氯二氢硅生成,尤其以还原单元为主中的副产物增量达到0.15wt%,多晶硅在还原炉内沉积过程中,三氯氢硅中的二氯二氢硅含量达到7wt%~12wt%,还原炉内容易形成无定形硅,带来雾化现象,使还原炉内无法正常生产。因此要严格稳定控制输送至还原炉内的三氯氢硅中的二氯二氢硅含量,这就需要在还原氯硅烷分离过程中,将二氯二氢硅引出系统。现有技术中,常规的精馏塔...
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