技术编号:17307426
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及芯片的MOS工艺角测量领域,具体而言,涉及一种芯片的MOS工艺角的测量方法、装置和系统。背景技术在集成电路制造的过程中,由于工艺的偏差,生产出来芯片有不同的工艺角,芯片中各模块的性能受工艺角的偏差变化明显,为了达到符合要求的性能,需要在出厂时进行测量并微调,图1是根据现有技术的一种芯片的NMOS工艺角的测量电路的结构图,该电路由一个偏置电路和一个判断电路组成,其工作原理是一个不随工艺角变化的恒流源Ibn给NMOS提供电流偏置产生电压Vgsn,Vgsn的电压随工艺角变化,NMOS在slo...
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