技术编号：17322821
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种针对纳米级的的位移进行实时、精确测量的装置。背景技术随着科学技术向纳米尺度发展，低成本、方便实用的纳米级位移测量和校准器面临广泛需求同时纳米测量技术也是解决目前和未来许多高精度、高分辨率问题的先决条件之一。目前纳米级线位移常用测量仪器如以下几种：(1)光栅线位移传感器，分辨率为1nm，测量范围为500mm；(2)激光干涉仪，分辨率为0.1至10nm，测量范围大于1m；(3)电容传感器，分辨率为纳米级，测量范围为几十至几百微米。从上述几种测量仪器测量范围和分辨率可知，这三种仪器皆可满...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。