技术编号：17330127
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种压电步进器及其控制方法，特别涉及一种相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达及其控制方法，属于压电定位器技术领域和扫描探针显微镜领域。背景技术压电马达是一种利用压电材料周期性电致伸缩形效应工作的电动机，凭借其纳米级的定位精度和厘米级的行程等特点，广泛应用于光学精密移动平台、纳米器件加工、扫描探针显微镜成像等领域。压电马达一直向着高精度、大推力、小体积、高刚性等方向不断发展，然而这些目标相互之间存在很多矛盾，例如：结构小则推力也较小，大推力则影响其定位精度，大结构则会降低系统刚性。因此，压电...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。