技术编号：17357008
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及具有由于由诸如正交分量之类的扰动力所致的的误差补偿的微机电设备。背景技术如已知的，MEMS(微机电系统)由于它们的小尺寸、与消费者应用兼容的成本、以及它们与日俱增的可靠性而以日益广泛的方式被用在不同的应用中。特别是，利用这一技术，制造了诸如微集成的陀螺仪和机电振荡器之类的惯性传感器。这一类型的MEMS通常基于微机电结构，该微机电结构包括支撑体以及通过弹簧或“曲部(flexure)”耦合到支撑体的至少一个可移动质量块(mobile mass)。弹簧被配置用于使得可移动质量块能够根据一个或...
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