一种斜入射式原子束显微装置的制作方法技术资料下载

技术编号:17359021

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本实用新型涉及对材料的显微技术领域,尤其是一种具有特殊设计的原子束流聚焦结构,且原子束流斜入射样品表面的一种斜入射式原子束显微装置。背景技术在显微技术领域,一般的电子显微镜只能对导电样品进行成像,且其工作时发射出的电子束的能量较高,会使某些较为敏感的样品表面受到辐射损伤。原子束显微镜能够克服以上缺陷,对易损或绝缘样品进行成像,其通常采用惰性气体原子作为发射原子,惰性气体原子束能量很低,且化学性质非常稳定,这些因素使原子束显微镜能够非破坏性地得到样品表面图像。原子束显微镜的工作原理是:在高真空中,...
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