技术编号：17379640
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器技术领域，具体涉及基于单壁碳纳米管悬空结构的柔性传感器及其制作方法。背景技术一维纳米材料与微结构结合的纳器件制造过程，实现了微纳加工工艺上的创新升级，有可能突破微米级器件的性能极限，并将为实现超微型化和高功能密度化的柔性器件铺平道路。单壁碳纳米管(Single-walled carbon nanotubes,SWNTs)作为典型的一维纳米材料，由于其独特的结构而具有许多突出的物理及化学性质，在力学、电学、光学及材料学等方面有着潜在的应用，尤其是SWNTs优异的力电特性，使它有望成...
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