技术编号：17379658
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开属于微米超导电路制备及应用技术领域，涉及一种超导真空桥及其制备方法。背景技术空气桥是一种电路结构，它是以三维桥形方式实现平面电路的跨接的一种方式。由于使用空气作为两个导体之间的电介质，可以扩展线路的操作频率范围。与目前无空气桥的线路相比，它可以实现平面波导地线的连接，以及使平面波导交叉通过，能够增强电路稳定性，并构建复杂电路结构，在微米超导微波电路中具有重要意义。对于超导线路，一般工作在真空中和低温下，因此需要制备超导真空桥。对于基于铝膜的超导线路，通常采用铝作为超导真空桥。但是铝真空桥存...
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