技术编号:17382059
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检测技术领域,尤其涉及一种检测模块、检测方法及具有该检测模块的传输装置。背景技术环形高速电镀线是一种对集成电路产品实现电镀加工的设备。参图1,环形高速电镀线包括用于承载并输送集成电路产品的钢带1,钢带1在驱动轮2的驱动下运转而携带集成电路产品经过多个工位完成电镀加工。实际操作中,由于机械零件受到磨损、侵蚀等影响,例如传输钢带1与导向轮3、电镀电极4等周边相关零件的配合状况变差,会导致钢带1运行时在钢带1的法向X上产生位移甚至变形,无法稳定可靠运行,影响产品质量。发明内容本发明的目的在于...
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