技术编号:17383851
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种声质点振速传感器的制备方法。背景技术声音是空气媒介的质点振动传播,一般使用声压、声质点振速和声阻抗三个物理量描述声场特性。就目前而言,测量声压比较容易实现,相关传感器也日趋成熟,所以声压已成为人们最为普遍采用的描述声波性质的物理量。但是,由于声质点振速物理量的测量手段缺乏,声学测量能力受限。对微米尺度的两根平行金属丝通以电流加热周围空气,声波引起的空气质点振动导致细丝温度的周期性变化,进而可以检测空气声质点振动,将这种热线式的风速传感器制作成微纳米尺度器件,能够...
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