技术编号：17386873
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及利用哥氏力原理检测运动体角速度姿态参数的技术领域，尤其是涉及一种微型单循环气流式Z轴PET角速度传感器。用于无人机、可穿戴式设备、头盔、智能机器人、摄像机等微型载体的稳定系统。背景技术现有技术中以微机械振动角速度传感器为代表的微型角速度传感器的角速度芯片内一般设置有固体框架或梁，抗冲击振动能力差，而气流式角速度传感器以气体作为敏感质量，结构简单，通过哥氏力使气流敏感体偏转来实现角参数的测量，因此这种微型角速度传感器抗高过载、耐强冲击、成本低。中国专利89105999.7提出的高灵敏度压...
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