技术编号：17388185
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体处理设备技术领域，尤其涉及一种运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法。背景技术在工业加工的过程中，常需要对成品进行检测或对半成品进一步加工，需要使用具有旋转功能的运动平台进行支撑，例如在OLED玻璃基板的检测与加工的过程就常使用这些运动平台。随着技术的发展，基板的工艺越来越优化，检测的方式也多种多样；在传统的基板检测领域，如对OLED玻璃基板的缺陷检测，一台检测设备中的运动平台大多只能满足同一代整片基板下的运动检测，不能满足同一代基板2个半片的检测，单台检测设备的功能较为单一，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。