技术编号：17388253
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微/纳米仪器领域，具体涉及一种纳米压痕加热装置以及相应的纳米压痕测试仪。背景技术随着纳米技术的发展，新的纳米结构、纳米材料及其卓越性能不断被人们发现和认识，并显示了非常广阔的应用前景。新型纳米材料的飞速发展迫切需要与之相匹配的纳米力学性能测试策略。现有应用在扫描电镜(SEM)中纳米压痕加热平台系统存在以下缺点：加热平台采用水冷、液氮气体系统进行冷却，增加了系统设计以及安装复杂难度，流动的冷却系统影响整个加热平台系统工作过程中温度稳定。发明内容本发明要解决的技术问题是提供一种减少了散热系...
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