技术编号：17390550
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及加速度计技术领域，特别是涉及一种电容式MEMS加速度计机械梁刚度测量方法、装置和系统。背景技术与传统加速度计相比，MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)加速度计具有体积小、重量轻、功耗小、易集成、抗过载能力强等诸多特点，使其在军事、工业、医疗、安全监测和消费电子等诸多领域均有应用。MEMS加速度计包含敏感结构和检测电路，其中，敏感结构是MEMS加速度计的核心结构，其采用微加工工艺制造而成。从MEMS加速度计设计到敏感结构加工的过程中，需要...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。