技术编号：17413304
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种用于晶圆处理设备的进气管和晶圆处理设备。背景技术晶圆处理设备，例如炉管设备等，通常会采用石英管作为进气管。有些晶圆处理设备，例如用于沉积多晶硅的炉管设备会使用较长的进气管，在使用过程中容易发生断裂，导致机台无法正常使用，从而影响设备的产能。如何提高进气管的强度，提高使用寿命，是目前需要解决的问题。实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种用于晶圆处理设备的进气管和晶圆处理设备，所述进气管不易断裂，可以提高使用寿命。为了解决上述问题，本实用新型提...
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