技术编号:17424233
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半球谐振陀螺镀膜空间运动装置,特别涉及半球谐振陀螺镀膜领域。背景技术采用传统真空镀膜设备转架,仅能实现公转+自转的功能,无摆动功能,且无法独立控制公转与自转的转速。对于半球谐振陀螺零件各个表面镀膜无法一次成膜,不能实现一次装夹完成真空镀膜,需要对零件进行多次镀膜。因此,采用常用的传统方式对半球谐振陀螺零件镀膜均匀性差,合格率难以控制,效率低。发明内容本发明目的在于设计一种半球谐振陀螺镀膜空间运动装置,该装置包含公转系统、自转系统、摆动系统和真空室;所述公转系统包括,公转电机,所述公转电...
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