技术编号:17424243
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空镀膜机的抽气口布局技术领域,具体是一种用于真空镀膜机的多抽气口布局。背景技术利用真空蒸发技术在工件表面镀制一层具有特殊性能膜层的技术,已经成熟运用于工业生产及装饰材料上。目前,较大型的立式真空镀膜机,普遍采用在镀膜罐体外表面布置一个抽气口,内置一组纵向放置的进气管,进气管上有多个进气小孔,镀膜罐体越高,相应内置进气管就越长,使得进气管上每个进气小孔排出的工艺反应气体越不均匀,从而影响镀膜质量及镀层颜色的均匀度。中国专利公开了一种用于真空镀膜机(授权公告号CN205576263U),...
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