技术编号:17424410
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种金属工件清洗工艺。背景技术有机电致发光显示装置(英文全称Organic Light Emitting Display,简称OLED)是主动发光显示装置,具有高对比度、广视角、低功耗、体积更薄等优点,有望成为下一代主流平板显示技术。有机电致发光显示装置为薄膜器件,在制造过程中,通常可以采用蒸镀设备在基板上形成薄膜。蒸镀设备可以包括:蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源和基板支撑架,在基板上形成薄膜时,可以将基板设置在基板支撑架上,加热蒸镀源使蒸镀源蒸发出蒸镀材料分...
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