一种适用于高纯介质提纯的换热器及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:17432426

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本发明涉及换热器领域,具体地,涉及一种适用于高纯介质提纯的换热器及其制备方法。背景技术由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展,及我国政府大力提倡科技兴国,国内半导体、光伏制造业发展迅猛。而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要经常使用特殊气体,目前我们国家也越来越提倡使用国内技术和国产气体,所以高纯气体的提纯技术就显得尤其关键。在以往的普通换热器的提纯技术中,换热器使用的管路为普通管路,达不到高纯的要求,所以高纯介质的提纯就多了一些限制,另外市场上同等效率的换热器,做不到密集盘管的效果,占地体积较大。...
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