技术编号:17432426
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及换热器领域,具体地,涉及一种适用于高纯介质提纯的换热器及其制备方法。背景技术由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展,及我国政府大力提倡科技兴国,国内半导体、光伏制造业发展迅猛。而在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要经常使用特殊气体,目前我们国家也越来越提倡使用国内技术和国产气体,所以高纯气体的提纯技术就显得尤其关键。在以往的普通换热器的提纯技术中,换热器使用的管路为普通管路,达不到高纯的要求,所以高纯介质的提纯就多了一些限制,另外市场上同等效率的换热器,做不到密集盘管的效果,占地体积较大。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。