喷墨装置及喷墨装置的清洗方法与流程技术资料下载

技术编号:17434453

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本发明涉及一种喷墨装置及喷墨装置的清洗方法。背景技术已知有一种通过从喷墨头喷出油墨,而形成用于对形成于基板的表面的导电体进行图案化的抗蚀膜的喷墨印刷机(专利文献1)。在常温下,使用粘度高的油墨的情况下,为了使粘度降低至能够从喷墨头喷出的程度,必须对油墨进行加温。若在基于喷墨印刷机的膜形成之后停止装置的运行,则残留于喷墨头内部的油墨的粘度变高。在喷墨头内部形成有多个微细的油墨的流路。残留于喷墨头内部的粘度高的油墨成为该微细的油墨的流路堵塞的原因。以往技术文献专利文献专利文献1:日本特开2015-1...
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