技术编号：17435201
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求2016年6月14日提交的题为“电连接弯曲部件(Electric Connection Flexures)”的美国专利申请序列号为15/182,389的优先权，其内容通过引用整体并入本文。技术领域本公开一般涉及用于微机电系统(MEMS)的弯曲部件，更具体地，涉及用于移动平台的电连接弯曲部件的实施例。发明内容根据本文所公开技术的各种实施例，公开了用于微机电系统(MEMS)装置的移动平台的电连接弯曲部件。所公开的弯曲部件具有低电阻和刚度，并且充分移位使得移动平台(例如，承载传感器的平台)可...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。