技术编号:17435975
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及改性成型品的制造方法、成型品、隔膜和隔膜阀。背景技术在半导体制造工厂中,在半导体制造中使用的腐蚀性高的化学药品等的供给中使用了隔膜阀。聚四氟乙烯(PTFE)和四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)由于具有优异的耐化学药品性、非粘合性等而被用作隔膜阀的构成材料。但其出现了从隔膜阀产生粉粒、使半导体制造的成品率降低等问题。在专利文献1中,现有的隔膜阀中的阀箱为PTFE制,但由于该阀箱通过切削加工而制成,因而会附着有毛刺等异物,据认为无法避免粉粒的产生。并且认为,通过至少使阀箱由PFA成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。