技术编号：17438829
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2016年8月30日提交的EP申请号16186333.7的优先权，其全部内容通过引用并入本文。技术领域本发明涉及可用于例如通过光刻技术来制造器件的方法和装置以及涉及使用光刻技术来制造器件的方法。更具体地，本发明涉及位置传感器和用于确定在衬底上的标记的位置的方法。背景技术光刻设备是一种将期望图案施加到衬底上、通常施加到衬底的目标部分上的机器。例如，光刻设备可以用于制造集成电路(IC)。在这种情况下，可以使用图案化装置(其替代地称为掩模或掩模版)来生成要在IC的独立层上形成的电路图案。该...
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