技术编号：17441859
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求2016年7月6日提交的美国专利申请No.15/202,899的权益和优先权，其全部内容通过引用并入本文。背景技术以下描述被提供来帮助读者的理解。提供的信息或引用的参考文献均并非承认为现有技术。微机电系统(MEMS)被用在相对小的设备中。例如，MEMS设备被用在小型电子设备中。诸如智能手机、平板电脑、头戴式耳机和其它计算设备的设备可以使用诸如MEMS麦克风的一个或更多个MEMS设备。一些MEMS麦克风被设计和制造以降低封装的成本和/或适合于多种应用。发明内容一般而言，可在麦克风中具体实...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。