技术编号：17463842
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及精密仪器基础技术领域，具体是一种用于精密仪器的基座防漏面板。背景技术目前半导体行业洁净室内的设备经常会产生液体渗漏问题，因此常采用在基座上方加设防漏盘的方法进行收集漏液。防漏盘就是一种半导体行业中，洁净室内常用的防漏设备，采用聚丙烯制成，防漏盘具有无毒、无味，密度小、耐腐蚀和绝缘性高等优点，并广泛适用于半导体行业和光电领域的洁净室内，但现有的防漏盘，由于防漏面积大，所有必须采用很厚的聚丙烯板制作，才能保证防漏盘的整体刚性，因此造成了材料的浪费，并且每个防漏盘必须通过现场实际测量，来...
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